OFV-2500 振動計コントローラ - 高周波バージョン

OFV-2570 高周波振動計コントローラは、最大24 MHzまでの高周波帯域に対応するコンパクトな非接触振動センサであり、超音波振動子の開発や、超音波による非破壊検査（NDT）、MEMSデバイスの高周波動的特性の測定、波動伝搬の研究などに役立ちます。OFV-2570は、ナノメータレンジの速度や変位を復調できます。接続できるセンサヘッドは、スタンダードまたは光ファイバ型のセンサヘッド、そしてオプションのカラービデオカメラや顕微鏡レンズを備えたOFV-534 コンパクト センサヘッドにも対応しています。

高周波の振動測定に特化

OFV-2570 高周波振動計コントローラは、最大周波数10 MHz対応の2レンジ速度デコーダと、最大24 MHｚ周波数対応の単レンジ変位デコーダを内蔵しています。これらのデコーダは、外部出力により同時に操作でき、最大3 m/s（ピーク）の振動速度と±75 nmの変位を測定できます。OFV-2570には、設定を表示するLEDディスプレイ、信号レベル表示、外部接続用RS-232インタフェース、およびユーザ定義設定のプログラミング機能が搭載されています。生産ラインなどの厳しい環境にも耐える堅牢な筐体と、研究開発にも対応できる高精度な測定性能で、高い周波数帯域の応答、位相、線形成、および振幅の厳密な測定が必要となるアプリケーションにも十分にお使いいただけます。

• 高周波振動子の開発や品質管理: 医療用超音波デバイス、ワイヤボンダなど

• 超音波の非接触センサー: レーザ超音波による非破壊厚み測定、スキャニング レーザ超音波顕微鏡など

• MEMSデバイスの過渡および定常状態における動的特性解析

主な特徴

• 超音波振動測定に最適な、シンプルかつコストパフォーマンスに優れた測定ソリューション

• 分かりやすいフロントパネル表示やリモートコントロール インタフェースにより、便利な操作を実現

• あらゆる表面条件に対応する非接触・無負荷の測定

• 微細な測定スポットサイズ（最小1.5μm）

• バックグラウンドでの低周波振動の自動抑制により、変位モードでの周囲振動による影響を軽減

• 定常状態だけでなく過渡的な振動（ショック、パルス、ステップ）も測定可能
  

OFV-2570対応のセンサヘッド

OFV-2570 高周波振動計コントローラには、次のセンサヘッドを接続できます。

• OFV-503 および OFV-505 シングルポイント センサヘッド: 測定距離が長いアプリケーション向け

• OFV-551 および OFV-552 光ファイバ センサヘッド: 測定距離が短く、顕微鏡を利用した測定ターゲットが微細なアプリケーション向け

• マイクロデバイスのシングルポイント測定については、OFV-534コンパクト センサへッド（オプションのカラー ビデオカメラおよび顕微鏡レンズを搭載したバージョン）を接続することにより、直径1.5 μmの測定スポットを実現できます。

   

モジュール型およびスキャニング高周波振動計

より柔軟なシステム構成をお求めの場合は、モジュール型のハイエンド モデルOFV-5000 振動計コントローラ に24 MHzのDD-300 変位デコーダ、または10 MHzの変位デコーダを組み合わせて使用することもできます。

最大24 MHzまでの全視野振動測定が必要な場合、大きな測定ターゲットにはPSV-400-M2-20 スキャニング振動計が、マイクロデバイスなどの測定にはMSA-500マイクロシステム アナライザがご利用いただけます。

OFV-2570 テクニカル データ

OFV-2570 技術仕様
外形寸法(L x W x H)	235 mm x 320 mm x 150 mm  （½ 19”, 42 HP/3 U）
重量	6 kg  （13.2 lbs）
電源	100 ～240 VAC ±10 %、50/60 Hz、最大75 W
動作温度	+5 ～+40 °C  （41～104 °F）
保管温度	-10 ～ +65 °C  （14 ～149 °F）
相対湿度	最大80 %、結露なきこと
対応センサヘッド	OFV-505/503、OFV-551/552、OFV-534センサヘッド
アナログ信号出力	速度;  変位; 信号強度
デジタル インタフェース	RS-232

OFV-2570 性能仕様
速度デコーダ
測定範囲	100 mm s-1/V	500 mm s-1/V
フルスケール(peak)	0.6 m/s	3 m/s
信号周波数領域	0.5 Hz ～ 10 MHz	0.5 Hz ～ 10 MHz
標準分解能1)	3 µm s-1/ÖHz	3 µm s-1/Ö Hz
最大加速度	3.2 * 106g	16 * 106 g
線形誤差	2 %	2 %
変位デコーダ
測定範囲	50 nm/V
フルスケール	±75 nm
周波数範囲	30 kHz ～ 24 MHz （3 dB）
分解能	< 0.02 pm/ÖHz （反射率が100 %の場合） < 0.05  pm/ÖHz （反射テープで測定した場合）
線形誤差	< 2 % （最大60 nmピーク）

¹⁾ 残留ノイズレベルは、3M Scotchlite Tape®（反射テープ）上で1Hzのスペクトル分解能で測定した際の、S/N比が0 dBとなる信号振幅（rms値）として定義されます。標準値は、動作周波数範囲の中心周波数での値を参照します。