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MSV-400 マイクロスコープスキャニング振動計は、優秀技術賞を獲得したMSV-300の後継機種です。20MHzの帯域幅と1μm以下のレーザスポット径で、多彩なのMEMS振動解析が可能です。MSV-400はプローブステーションに簡単に設置でき、ウエハレベルのテストも実施できます。またPMA-400プラナーモーションアナライザと組み合わせれば、3次元振動解析が実現できます（MMA-400マイクロモーションアナライザをご参照ください）。

MSV-400 システム構成


MSV-400-M2	基本構成は, 帯域幅 1 MHz, 2 MHz オプション
MSV-400-M2-20 (A)	帯域幅 10MHz 高周波速度デコーダを備えたHF構成
MSV-400-M2-20 (B)	帯域幅 20MHz 高周波変位デコーダを備えたHF構成

MSV-100 顕微鏡スキャンユニット


光学センサヘッド	標準: OFV-551 シングルファイバ (別紙のデータシート参照) オプション : OFV-552 参照型ミラー付きデュアルファイバ
レーザ安全クラス	クラス 2、 He-Ne レーザ, < 1 mW, アイセーフ
ビーム径	10 µm （ 4倍　顕微鏡レンズにて） ~ 1 µm （ 40倍　顕微鏡レンズにて）
スキャナ	クローズド　ループ（Closed loop）　デュアル･ピエゾ･スキャン･ステージ（ dual-piezo scan stage）
スキャン分解能	視野内を 200 x 200 ポイント以上
ビデオカメラ	デジタル・プログレッシブ・スキャン・カメラ (1.3 Mpixel)　 FireWire インタフェイス (IEEE 1394)で接続
視野領域（Viewing field）	2.5 mm x 1.75 mm 4倍対物レンズにて 100 µm x 70 µm 　　100倍対物レンズにて
スキャン領域（Scan field）	1.75 x 1.75 mm 　　　 4倍対物レンズにて 70 x 70 µm 　　　　　 100倍対物レンズにて
顕微鏡への接続	CCD ポート (C-マウント)
推奨されるべき顕微鏡	ミツトヨ社製 FS70 シリーズ Zeiss Axioskop社製 2Mat シリーズオリンパス社製 BX2M シリーズ Leica 社製DMLM シリーズさらなる情報、推奨はお近くの営業所におたずねください。

OFV-5000 振動計コントローラ


デコーダ構成	MSV-400-M2		MSV-400-M2-20 (A)		MSV-400-M2-20 (B)
	VD-02 広帯域幅速度デコーダ VD-06 デジタル高精度速度データ		VD-02 広帯域幅速度デコーダ VD-05 10 MHz 超音波対応速度デコーダ		VD-02 広帯域幅速度デコーダ DD-300 20 MHz 超音波対応変位デコーダ
	詳細についてはデコーダデータシートをご覧ください。
速度分解能	0.02 µm s^-1 ÖHz, 以下速度レンジと周波数による。			0.15 µm s^-1 ÖHz, 以下速度レンジと周波数による。
変位分解能	< 0.1 pm/ÖHz 100 %　全反射の時 (MSV-400-M2 と PSV-S-VDD , MSV-400-M2-20 (B))
最大振動周波数	1.5 MHz (PSV-S-VDD オプションでは2 MHz )	10 MHz				20 MHz
最大速度時の最大振動	± 10 m/s
リモート・コントロール	RS-232 インターフェイス

MSA-E-400 ジャンクションボックス


機能	振動計コントローラとデータ・マネジメント・システムを接続し、加振用電圧出力やスキャナー用ミラーを動作させるドライバを内蔵
入力信号	可変電圧ゲイン0.1 V ～±31.6 V、振動計およびリファレンス信号用アナログ入力、トリガおよびゲート用TTL入力
ピエゾ･コントローラ	2 チャンネル
パワー・アンプ	アンプ内蔵, 差動出力, 10 V / 50 mA のピーク値

OFV-551 / OFV 552 光ファイバ干渉計仕様


レーザ波長	633 nm, 可視赤色光
レーザ安全クラス	クラス 2 He-Ne レーザ, < 1 mW, アイセーフ
使用可能なファイバ長	1000 mm (OFV-551), 2000 mm, 3000 mm (OFV-552)
レーザ調光機	レーザ　パワー調光機能はオプションです。
コヒーレンス特性
センサヘッド	最可視光
OFV-551	135 mm¹ + n · 204 mm; n = 0; 1; 2; ...
OFV-552²	0 mm + n · 204 mm
OFV-552³	63 mm + n · 204 mm

¹33 mmご要望により可能 ² 差動計測 ³ シングルポイント計測

データマネジメントシステム


コンピュータ	3 GHz CPU以上を搭載した工業用PC
RAM	1 Gbyte
HDD	120 GB
データバックアップおよび保存	DVD (x4)／CD (x16)複合レコーダ
画像取り込み	ハイエンドグラフィックボード（ VIVO 付き）
ピエゾ･コントロール･ボード	16 bit DAC
ADCおよびジェネレータ・ボード	下記セクション参照
データ・リンク	イーサーネット(Ethernet)LAN
OS	Microsoft Windows® XP

データ収集

システム

MSV-400-M2

MSV-400-M2-20

チャンネル数

同時サンプル2チャンネル

分解能

12 bits （帯域幅によっては、オーバーサンプリングに備えて15ビットまで）

設定範囲

± 100 mV...± 31.6 V

± 200 mV...± 10 V

トリガ

外部またはアナログ、プレトリガまたはポストトリガ

ゲート

ゲート測定用追加入力、MSV-400-M2のみ

FFT 周波数範囲

DC...1 MHz, DC...2 MHz オプション

DC...40 MHz

測定物の加振

内蔵シグナルジェネレータ、500 kHz以下

内蔵シグナルジェネレータ、40 MHz以下

アジレント社製任意波形発生器33120Aモデルの制御用ソフトウエア

波形

正弦波、ペリオディックチャープ、ホワイトノイズ、ランダム、スウィープ、任意信号

などの幅広い波形

ソフトウエア - 収集


ビデオ・ディスプレイ	試験対象物全域の白黒リアルタイムビデオイメージ。ユーザインタフェースに直接取り込まれ、対話式のスキャンセットアップとビームポジショニングが可能。リアルタイムビデオイメージのデジタルズーム機能。
レーザ・ポジショニング（Laser positioning）	可視レーザの移動はリアルタイムビデオイメージ上のカーソルとマウスのクリックやドラッグ操作で行う。
スキャンジオメトリの定義	APSプロフェッショナルモードを利用してどのような形状の対象物でも1個につき最大512×512ポイントの定義が可能。リアルタイムビデオイメージ上でのマウスを使用した測定ポイントの定義。極座標、カルテシアン座標、六方晶系を利用した各対象物の描写や1点の定義が可能。すべての対象物は移動や拡大、他のオブジェクトとのグループ化／グループ化解除が可能。
振動計コントロール	速度レンジやトラッキングフィルタなどすべての振動計パラメータは、RS232インタフェースを介してソフトウェアによって管理する。
スキャンユニットコントロール	顕微鏡内レーザビームポジションはマウスを使用した完全なリモートコントロールが可能。
ディスプレイ	実際のレーザスポットのリアルタイムビデオ、スキャンポイントを含む全体のスキャンエリア、さまざまな信号のアナライザディスプレイ（タイムトレースとスペクトル）を同時に表示。
収集スキャンデータ	すべてのスキャンポイントで全チャンネル用に収集されるスペクトル全般。
高速スキャン（FastScan）	単一周波数での測定で使用できる高速収集モード（最大毎秒50ポイント）。帯域幅は定義可能。
ゲートインプット（Gate input）	断続的スキャンコントロール用ゲートインプット
スキャンデータ有効性チェック	すべてのスキャンポイントにおけるデータ品質チェック。信号増幅（SE）モードでは、MSV-400は各スペクトル内データの品質チェックを行う。平均的スペクトルは最適なS/N比を備えたスペクトルに偏増幅される。測定ポイントは、最適（SEのみ）、有効、A/Dオーバーロードというように評価される。
トリガ	外部信号またはあらゆる測定信号に基づく、自動または手動の開始、立上がり／立下がり(rising or falling edge)
平均	スペクトルの複合平均またはマグニチュード平均、ピークホールド、時間平均
オーバーラップFFT	減少平均時間について最大75%
FFTライン	6,400 （標準）, 12,800 （オプション）, ズームFFT（オプション）
窓関数(Window functions)	矩形窓、ハミング窓、ハニング窓、フラットトップ窓、ブラックマンハリス窓、バートレット窓、指数窓(Rectangular, Hamming, Hanning, Flat top, Blackman Harris, Bartlett, Exponential)

ソフトウエア - データ処理と解析


ソフトウエア	保存されたCCDビデオイメージ（静止画／動画）のカラー表示／グレー表示による塗り潰された又は塗りつぶしなしの、輪郭および3次元レリーフマップ。すべての測定ポイントにわたる平均スペクトル。ボード線図またはナイキスト線図としての各ポイントにおける個別スペクトル。ビデオイメージの動画によって結果の視覚化が容易。データは速度、加速度、または変位で拡大／縮小可能。対数軸／直線軸。( Logarithmic/linear axes)
データ変換	ASCII , ユニバーサルファイルフォーマット, ME’scope (Vibrant社製)
画像変換	20以上の画像フォーマット対応(AVI, JPEG, BMP, TIFF....)
データ処理	複合スペルトラム解析により、エリアデータまたは単一ポイントデータとして次のような量と機能のデータを提供する。マグニチュード、マグニチュードdB(A)、位相、現実、仮想、周波数特性機能（FRF）、H1、H2、オートパワー、クロスパワー、干渉性、周波数の平均RMS。1/3オクターブ解析。
ポリテックシグナルプロセッサ（Polytec Signal Processor）	プレゼンテーションモードにおける、エクセルのような操作性を備えた信号処理用総合ツール。
自動処理	ソフトウエアはVisual Basicのスクリプトで自動化可能

MSV-400 マイクロ スキャニング振動計 - テクニカル データ