MSV-400 マイクロ スキャニング振動計 - 特長
MSV-400は、MEMS光学スイッチなどのマイクロデバイスの振動解析を目的とした、優秀技術賞を獲得したMSV-300の後継モデルです。レーザによるドップラ効果に基づき、最小1 μmの方位分解能で構造物の振動特性を解析します。MSV-400は、ピコメートル レベルの分解能と、最大1MHz（オプションで最大20 MHz）の帯域幅を実現しています。
MEMSのような微小構造物の振動解析
MSV-400は、MEMSなどのマイクロデバイスの振動解析に特化して開発されたものです。MEMSは、自動車、医療、生化学、航空宇宙業界などで無数に利用されています。その結果、パッケージ化・非パッケージ化されたデバイス（シングルダイやウエハレベル）のテストが必要不可欠になりました。MSV-400は、MEMSデバイスの面外振動解析を迅速かつ正確にできる最適なツールです。MSV-400は、ウエハレベルテスト用プローバに、マニュアル、オートを問わず簡単に設置することができます。
特長
- 顕微鏡の光学系を介した全体的な振動解析
- 周波数領域と時間領域の測定
- 面外周波数に関するすべての特性情報
- 0 Hzから最大1 MHz（オプションで20 MHz）までの周波数範囲
- 時間領域/周波数領域データをアニメーション化できる高解像度ビデオ
- ピコメートル レベルの面外運動変位分解能（オプション）
- 微細なレーザ径サイズ（40倍レンズ使用時した場合: Φ=1 μm）
- 最も一般的なCCDポートを備えた顕微鏡との互換性を確保
- モジュール設計: MMA-400 マイクロモーション アナライザに簡単にアップグレード可能
レーザドップラ振動計の利点
レーザドップラ振動計（LDV）は、デバイスの面外振動を完全に把握することができる唯一のシステムです。測定は離散周波数において行われる必要はありません。 その代わり、振動計の帯域幅全域にわたるすべての励振波形による振動データが用意されます。LDVは不安定な動きをするものや、非線形な動作についても測定できます。
システム
MSV-400は、①OFV-551光ファイバ干渉計、OFV-5000モジュール振動計コントローラ、データマネジメント システム（DMS）で構成される光学スキャニング システム、②A/Dコンバータを備えたワークステーション、③ソフトウェアで構成されています。顕微鏡には、OFV-072デュアルビーム スプリッタ モジュールが取り付けられており、ビームの経路には光ファイバがOFV-073マイクロ スキャニング モジュールを介して組み込まれています。OFV-073は、外部ユニットを使用して、顕微鏡の光学系を介したレーザビームのスキャンする2つの超精密ピエゾステージをコントロールします。同時に、VCT-101プログレッシブ スキャンカメラがリアルタイムな映像をDMSに送信します。測定ターゲットではなくレーザが移動するため、測定中に安定したリアルタイム映像を見ることができます。
2つのバージョン
MSV-400には、標準バージョンのMSV-400-M2と高周波バージョンのMSV-400-M2-20があります。いずれも速度と変位信号の復調には、高性能なOFV-5000モジュール振動計コントローラを使用しています。周波数最大1 MHzのMSV-400-M2にはデジタル・アナログ両方の速度デコーダを備えています。MSV-400-M2-20には、周波数最大10 MHzの高分解能（HF）速度デコーダ、または周波数最大20 MHzの高周波変位デコーダを装備できます。
ハードウェアとソフトウェア
MSVデータマネジメントシステム（DMS）は、Windows 2000（要望によりXP）OSのボックスコンピュータ、スキャナコントロールおよびデータ収集用ハードウエア、MSV-400関連ソフトウエア一式で構成されています。
標準のコンピュータ（PSV-W-400-M2）には、IEEE1394ファイヤワイヤーアダプタ、内蔵シグナルジェネレータボード、スキャンコントロール用デュアルチャンネルD/Aコンバータ、データ収集用の帯域幅1 MHz・2チャンネルA/D変換ボードが含まれています。オプションとして最小1 pmの変位分解能を備えたPCベースのデジタル復調機能があります。高周波バージョンのPSV-W-400-M2-20には、2チャンネルデータ収集ボードと、帯域幅40 MHzの外付けまたは内蔵シグナルジェネレータを備えています。
ソフトウエアは、PSV-400シリーズと同様の優れた機能を備えています。MSV-400の標準機能のひとつに、被測定物の様々な形状に合わせられる密度とグリッド（極線、直交座標、六角形、任意）により、スキャンポイントを決められるアドバンスドポイントセレクション（APS）プロフェッショナルがあります。最大40000の測定ポイントにより、デバイスに関する詳細な情報が得られます。測定結果はそのまま3Dアニメーション表示されます。
モジュール設計とシステムアップ
もちろん、光学顕微鏡スキャニング システムであるMSV-400から離して、OFV-551光ファイバ干渉計をOFV-5000モジュール振動計コントローラと組み合わせて、シングルポイント振動計として使用することができます。顕微鏡を使った差動測定については、光学スキャニング システムに、ビームスプリッタをもう1台と手動の2軸位置決めシステムを追加して行うことができます。このような差動測定には、OFV-551のかわりにOFV-552デュアル光ファイバ干渉計を使用します。面内振動測定用のPMA-400プラナーモーション アナライザを組み込むと、MSV-400は、MMA-400マイクロモーション アナライザとなり、3次元特性解析が可能になります。光量の強さによって影響を受けるデバイスの測定向けに、すべての光ファイバ干渉計にオプションでレーザディマーが用意されています。
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