顕微鏡システム

MSA-500 マイクロシステム アナライザ

• スキャニング レーザドップラ振動計で面外振動の特性を評価
• ストロボスコープ ビデオで面内の動きと振動を測定
• 白色光干渉計で表面形状を測定
• MSA-500とMEMSプローブステーションを組み合せ、個々のチップをウェハレベルでテスト可能

特長 | テクニカルデータ | アプリケーション | ダウンロード |

MSV-400 マイクロスコープ スキャニング振動計

"Photonics Circle of Excellence Award"を受賞した、あらゆる形状の微小構造物の面外振動特性を解析できる顕微鏡システム

• 最大1MHzの帯域幅(オプションで最大20MHz)、レーザスポット径は1 µm以下
• ピコメータレベルの分解能で、50ポイント/秒でデータ収集できるFastScanモード
• MEMSプローブステーションに簡単に設置可能

特長 | テクニカル データ | アプリケーション | ダウンロード |

MSV-050/100 顕微鏡アダプタ

MSV-050/100は、光ファイバの振動計ヘッドを顕微鏡に接続できるように設計され、レーザドップラ振動計とMEMSのようなミクロスケールを結ぶ橋渡しの役目をします。

• 微小構造物のシングルポイントおよび差動振動解析が可能
• 優れた空間分解能を発揮する、レーザビームのビデオ対応ステアリング（オプション）
• モジュール設計 － MSV-400マイクロスコープ スキャニング振動計にアップグレード可能

特長 | テクニカルデ－タ | アクセサリ | ダウンロード |

PSV Software

PSV Softwareは、面外振動測定データを収集し、処理を行うための専用ソフトウェア パッケージです。
（PSVスキャニング振動計、MSVマイクロスキャニング振動計、MSAマイクロシステム アナライザに対応）

• スキャン機能の制御
• データ処理の実行
• 結果をアニメーション化し、直感的に分かりやすく表示
• モーダル解析、FEMなどのソフトウェアとの互換性を確保

特長 | バージョン8.5 | バージョン8.4 | バージョン8.3 | アップデート |

PMA Software

PMA Softwareは、ストロボスコープ ビデオ顕微鏡データの面内振動解析をトータルに制御します。
（対応機種：MSA-400／PMA-400）

• 面内振動測定向け制御／解析ソフトウェア
• サブピクセル※レベルの画像処理性能
• ライブビデオ機能を搭載し、スローモーション撮影も可能
• ボード線図、ステップ応答とリングダウン
• 強力なアナライザとエクスポート フィルタを搭載
  
  ^※サブピクセル：1つのピクセルを構成する、赤、青、緑の細かい点

特長 | PMA 2.5 | バージョン2.4 | アップデート |

TMS Software

概要 |