MEMS&マイクロデバイス

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マイクロデバイスの特性評価

PAR-TESTプロジェクト: MEMSパラメータを生産初期段階で決定する方法に関する研究

MEMSのセミオート・テスト

MEMSマーケットは現在、あらゆる製品の生産に欠かせない技術として急速に成長しています。

MEMSの用途が確立された分野には、自動車、娯楽向け電化製品、そして通信などがあります。

ポリテックは非接触振動測定技術で蓄積した豊富な知識を駆使し、MEMSコンポーネントの構造的な動作分析を実現する高度な測定・解析装置を提供します。

活用事例

VIB-M-07: UK NPLにおける真空測定

車載向けMEMSの開発

MEMSの形状と振動

MEMSモデルの検証

>>> さらに詳しく

この分野のポリテック製品

MSA-500 マイクロシステム アナライザ

MSV-400 マイクロスコープ スキャニング振動計

PMA-400 プラナーモーション アナライザ

MSV-050/100 顕微鏡アダプタ

リンク

MEMUNITY - Innovative MEMS Test Solutions

ポリテック チュートリアル シリーズ:
マイクロデバイスの3次元振動・動作解析

LM INFO Special Issue 1/2005: マイクロデバイスの動的測定

わずか数年前までは最先端の技術だったMEMSも、現在ではさまざまな製品に不可欠な技術として組み込まれています。

MEMSは、次のような用途に利用されています。

  • 自動車関連技術(ESP用およびGPS用の回転速度センサ、エアバッグの加速度センサ) 
  • 娯楽用電子機器(コンピュータプロジェクタ用および高品位テレビ用のデジタル光処理(Digital Light ProcessingTM(DLP)) 
  • 遠距離通信(光学スイッチ)
 

MEMSの動的特性測定装置は、非接触振動測定の分野で定評のあるポリテックの振動計シリーズをご活用ください。

 "Focus on MEMS Characterization", Polytec Application Report

 
 Copyright 2007 Polytec GmbH Technical specifications are subject to change
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MSA-500 マイクロシステム アナライザ

MSA-500は、MEMSやMOEMSの3次元振動特性を解析できる、新しいオールインワン顕微鏡システムです。
  • スキャニング レーザドップラ振動計で面外振動の特性を評価
  • ストロボスコープ ビデオで面内の動きと振動を測定
  • 白色光干渉計で表面形状を測定
  • MSA-500とMEMSプローブステーションを組み合せ、個々のチップをウェハレベルでテスト可能

 特長 | テクニカルデータ | アプリケーション | ダウンロード |
MSA-400 Micro System Analyzer
MSA-500 マイクロシステム アナライザ

MSV-400 マイクロスコープ スキャニング振動計

"Photonics Circle of Excellence Award"を受賞した、あらゆる形状の微小構造物の面外振動特性を解析できる顕微鏡システム

  • 最大1MHzの帯域幅(オプションで最大20MHz)、レーザスポット径は1 µm以下
  • ピコメータレベルの分解能で、50ポイント/秒でデータ収集できるFastScanモード
  • MEMSプローブステーションに簡単に設置可能

 特長 | テクニカル データ | アプリケーション | ダウンロード |
MSV-400 マイクロスコープ スキャニング振動計

PMA-400プラナーモーション アナライザ

微小構造物の面内の動きと振動を解析

  • 特殊な技術が要求されるMEMSアクチュエータのような微細な構造物の面内振動を測定
  • 面内振動測定に特化したストロボスコープ ビデオ方式を採用

 特長 | テクニカルデ-タ | ダウンロ-ド |
PMA-400 プラナーモーションアナライザー

MSV-050/100 顕微鏡アダプタ

MSV-050/100は、光ファイバの振動計ヘッドを顕微鏡に接続できるように設計され、レーザドップラ振動計とMEMSのようなミクロスケールを結ぶ橋渡しの役目をします。

 

  • 微小構造物のシングルポイントおよび差動振動解析が可能
  • 優れた空間分解能を発揮するレーザビームのビデオ対応ステアリング(オプション)
  • モジュール設計なので、MSV-400顕微鏡スキャニング振動計にアップグレード可能

 特長 | テクニカルデ-タ | アクセサリ | ダウンロード |
MSV-050/100 顕微鏡アダプタ