表面形状の測定は、さまざまな産業で必要とされる技術です。この技術で測定できる部品や構造物は、半導体やデータストレージ産業、マイクロデバイスやセンサ市場、そしてエンジニアリングや自動車産業に及ぶあらゆる分野で、ミリに満たないものから数センチのものまで無数に利用されています。
わずかな誤差も
高アスペクト比を持つ(=深くて細い)止まり穴は、底面の表面粗さや上面との平行度を計測することが非常に難しいとされています。
しかし、TopMap Pro.Labでは深さ50 mm、TopMap Metro.Labでは深さ70 mmまでの止まり穴であれば簡単に計測することができます。
部品生産における品質保証では、表面粗さなどの形状データは非常に重要なパラメータとなります。TopMapでは、表面形状の計測から結果の解析、保存、品質管理ソフトウェアへの転送までを全自動でスピーディに実行し、効率的な品質管理を実現します。
ハードディスク ドライブに搭載されるさまざまな部品、たとえば軸受スリーブ、流体軸受(FDB)、シャフト、ディスクハブなどの製造現場では、品質管理を支える技術の一つとしてTopMapシステムが利用されています。
レーザチップの品質管理では、チップ全体に及ぶ表面形状計測が非常に重要となります。TopMapでは、この形状計測を簡単に実施できます。さらに、計測した各データポイントにはX、Y、Z座標が割り当てられるため、非常に柔軟な解析を行うことができます。
透明なプラスチック ホイルの表面は、TMS-600 TopMap Pro.Labで計測します。表面の波状の幅は数百ナノメータ程度になります。表面の形状計測は、プラスチック ホイルの生産工程管理に非常に役立ちます。
『アプリケーション ノート』では、ポリテックの光学測定システムが多彩なフィールドでどのように活用されているかをご紹介しています。
その分野は、半導体からデータストレージ、MEMS、センサ装置、工学、そして自動車産業に至るまで多岐に広がっています。
下のリンクをクリックして、TopMapシリーズのアプリケーション ノートをぜひご覧ください。