アプリケーション

  表面形状の測定は、さまざまな産業で必要とされる技術です。この技術で測定できる部品や構造物は、半導体やデータストレージ産業、マイクロデバイスやセンサ市場、そしてエンジニアリングや自動車産業に及ぶあらゆる分野で、ミリに満たないものから数センチのものまで無数に利用されています。


 
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機能表面

わずかな誤差も許容されない、構造化された機能表面については、測定ターゲットの表面形状をスピーディに保存できる高精度な測定システムが必要です。白色干渉計は、ナノメータ以下~数ナノメータの精度で垂直方向の測定を実現します。


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噴霧器のメンブレン

止まり穴(非貫通穴)底面の表面粗さ計測

高アスペクト比を持つ(=深くて細い)止まり穴は、底面の表面粗さや上面との平行度を計測することが非常に難しいとされています。

しかし、TopMap Pro.Labでは深さ50 mm、TopMap Metro.Labでは深さ70 mmまでの止まり穴であれば簡単に計測することができます。


 
止まり穴の形状計測

生産ラインでの表面形状計測

部品生産における品質保証では、表面粗さなどの形状データは非常に重要なパラメータとなります。
TopMapでは、表面形状の計測から結果の解析、保存、品質管理ソフトウェアへの転送までを全自動でスピーディに実行し、効率的な品質管理を実現します。


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生産ラインでの計測

ハードディスク構成部品の品質管理

ハードディスク ドライブに搭載されるさまざまな部品、たとえば軸受スリーブ、流体軸受(FDB)、シャフト、ディスクハブなどの製造現場では、品質管理を支える技術の一つとしてTopMapシステムが利用されています。


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カウンタプレートの形状

レーザチップの表面形状

レーザチップの品質管理では、チップ全体に及ぶ表面形状計測が非常に重要となります。TopMapでは、この形状計測を簡単に実施できます。
さらに、計測した各データポイントにはX、Y、Z座標が割り当てられるため、非常に柔軟な解析を行うことができます。


 
レーザチップの計測

プラスチック ホイルの表面形状

透明なプラスチック ホイルの表面は、TMS-600 TopMap Pro.Labで計測します。表面の波状の幅は数百ナノメータ程度になります。
表面の形状計測は、プラスチック ホイルの生産工程管理に非常に役立ちます。


 
プラスチック ホイルの表面

TopMap アプリケーション ノート

『アプリケーション ノート』では、ポリテックの光学測定システムが多彩なフィールドでどのように活用されているかをご紹介しています。

その分野は、半導体からデータストレージ、MEMS、センサ装置、工学、そして自動車産業に至るまで多岐に広がっています。

下のリンクをクリックして、TopMapシリーズのアプリケーション ノートをぜひご覧ください。


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アプリケーション ノート