ポリテックの表面形状計測(TMS)システム TopMapシリーズは、白色光干渉計の技術を応用した表面形状計測システムです。TopMapでは、計測対象物表面の粗さや形状を、1 nmの微細なZ分解能で計測します。
また、TopMapシステムは深い測定深度にも対応でき、表面粗さやリップル(波状)形状、平行度などを簡単な操作で計測できます。たとえば、止まり穴の上面と底面の表面形状の比較など、特に従来より困難とされていた計測条件にも利用できます。また、通常はタッチプローブで測定する標準的な表面パラメータも、TopMapで簡単に抽出することができます。
TMS Softwareには、3D画像解析機能やASCIIフォーマットによるデータ エクスポート機能が搭載されています。さらにTMS Softwareを既存のソフトウェア環境に簡単に統合できるLabVIEWドライバも付属しています。
表面形状計測は、あらゆる産業で必要とされる技術です。TopMapシリーズが、多彩なフィールドでどのように利用できるかについては「アプリケーション」ページでご紹介しています。
TopMap Metro.Labは、平面や曲面の形状データを計測する、高精度・ハイコストパフォーマンスの非接触型表面形状計測システムです。
TopMap Metro.Labは広い視野と深い測定深度を特長とし、表面粗さや表面形状を最高20 nmの分解能で計測できます。
また、離れている複数の表面間(最大間隔70 mm)の平行度も計測できます。
コンパクトな業務用計測システムとして設計されたTopMap In.Lineは、その名の通り、簡単に生産ラインに組み入れることができ、部品の表面粗さや表面形状についてスピーディに仕様検査を実行します。
画像化した測定物表面の平面度(Z軸)の分解能は40 nm以上、視野は4.2 mm x 5.5 mmおよび直径19 mmです。
高い空間分解能が特長のTopMap µ.Labは、顕微鏡ベースの高精度・非接触型表面形状計測のためのスタンダード モデルです。
TopMap µ.Labは、微小構造物の機能表面が持つミクロの形状特性を評価します。
また、スキャニング白色光干渉計を利用し、計測物表面の凹凸、波状形状、表面粗さなどのさまざまな表面形状を、サブナノメータ レベルの分解能でスピーディに計測します。