ポリテックのTopMapシリーズは、白色光干渉計の原理に基づいています。干渉計の一方のアームに被測定物をしっかりと固定し、もう一方のアームに参照用ミラーを設置します。そして、干渉計ユニットが測定物に対応して一定の速度で移動します。図1はTopMapの干渉計ユニットの概略図です。カメラが参照用ミラーで重ね合わされた被測定物のイメージを捉えます。参照用ミラーと被測定物上の対応する点の光路差がゼロの場合にのみ干渉が起こります。この測定を行っている間、ソフトウェアが被測定物の形状に応じた各ピクセルにおける干渉縞を検出します。規定の距離を移動すると、被測定物の形状構造がデジタル的に捕捉されます。測定結果はTopMapソフトウエアの数々の機能によって評価することができます。エクスポート機能と自動インタフェースを使用すれば、形状データを他のソフトウェアで処理することもできます。
図１：白色光干渉計のセットアップ
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