UHF-120 超高周波レーザドップラ振動計 - 特長

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UHF-120 超高周波レーザドップラ振動計

超音波およびマイクロ/ナノテクノロジー分野における技術の進歩は、機械的な振動を超高周波(UHF)領域で測定できる、新しい光学測定ソリューションの実現をもたらしました。これからは、レーザをベースとした非接触・無負荷による光学測定手法を、最適なソリューションとしてお選びいただけます。

ポリテックから新しく登場したUHF-120 超高周波レーザドップラ振動計は、超高周波で振動する物体の面外振動特性を収集できます。UHF-120では、測定可能な振動周波数帯域が1,2 GHz まで拡張されています。光学系の設計を一新しながら、LDVのメリットだけでなく、ユーザの皆様が慣れ親しまれているLDVの使いやすさがそのまま受け継がれています。UHF-120は、ヘテロダイン干渉計とコントローラ ボックスから構成されています。光学ヘッドはヘテロダインディテクタ信号を生成し、その信号は高速デジタル オシロスコープで収集されます。オシロスコープでデジタル化された信号は、PCに送信されます。PC では、ポリテック VibSoft の新しいソフトウェア モジュールにより、ヘテロダイン搬送波が復調されます。

UHF-120 には、レーザ強度を和らげ、測定試料が測定スポットで受ける測定ビームのエネルギー負荷を最小化し、また測定ビームの容易な調整をサポートするゲート機能が搭載されています。さらに、内蔵のカメラおよび明視野顕微鏡イルミネーションを利用して、測定スポットを位置決めできます。



  
仕様

  • 測定できる最大振動周波数: 1.2 GHz
     
  • 振幅分解能(4.88 kHz RBWで収集した場合): <2 pm
     
  • FFTライン数: >600万ライン
      



  
標準的な測定アプリケーション

  • RF MEMS
     
  • BAW/SAWフィルタ
     
  • NEMS
     
  • MEMSプログラマブル クロック発振器
      
  • 超音波モータ
     
  • 超音波画像診断
     
  • レーザ超音波



  




UHF-120 超高周波レーザドップラ振動計




UHF-120の測定セットアップ




SAWデバイスの測定データ




ウェハレベルでのUHFによる解析