TopMap μ.Lab

TMS-1200 TopMap μ.Lab

TopMap μ.lab は、その優れた空間分解能の高さにより、非接触表面形状測定システムに新しい基準をもたらします。高精度な計測をシンプルにすばやく実行できる TopMap μ.lab は、機能表面やマイクロデバイスの表面形状マップを高分解能で収集し、平坦度、うねり、粗さなどの重要なパラメータを測定する、研究開発にも品質管理にも活躍する最適な測定ソリューションです。場所によって反射率が異なる表面も、Smart Surface Scan 機能により高い水平分解能で測定可能です。

  • サブナノメータ分解能で、3D 表面形状をスピーディに非接触で計測
  • 粗い表面や鏡面を問わず、表面の形状や平面度を正確に測定
  • Smart Surface Scanning 技術によりコントラスト (反射率) にバラつきのある表面にも対応
  • 表面形状の測定や評価を強力に実行する TMS Software を搭載
  • データを 2D および 3D で描画、ビデオ オーバーレイも可能

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