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ポリテックはマーケットの強いニーズに応えるべく、粗面 / 鏡面、段差のある面などを非接触計測する革新的な高精度 3D 表面形状測定装置 TMS シリーズを開発しました。スキャニング白色光干渉計をベースとするこれらの装置は、干渉 / 垂直スキャニング干渉計またはコヒーレンス レーダなどと呼ばれています。TMS シリーズは大きな垂直レンジとナノメータ分解能を実現し、広い測定面積や、繊細な材料を持つ構造体の平坦度、段差、平行度などを測定するための、理想的な測定器として活躍しています。
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ポリテックはマーケットの強いニーズに応えるべく、粗面 / 鏡面、段差のある面などを非接触計測する革新的な高精度 3D 表面形状測定装置 TMS シリーズを開発しました。スキャニング白色光干渉計をベースとするこれらの装置は、干渉 / 垂直スキャニング干渉計またはコヒーレンス レーダなどと呼ばれています。TMS シリーズは大きな垂直レンジとナノメータ分解能を実現し、広い測定面積や、繊細な材料を持つ構造体の平坦度、段差、平行度などを測定するための、理想的な測定器として活躍しています。
