MSA-500 マイクロシステム アナライザ

 

MSA-500 マイクロシステム アナライザは、MEMS のような微小構造物の表面形状や振動のビジュアル化や解析に最適です。MSA-500 は、MEMS の振動や表面形状を解析することを目的に、顕微鏡にスキャニング振動計とストロボスコープ ビデオ、白色光干渉計を統合したシステムとして開発されました。MSA-500 で得られた緻密な動的 / 静的 3D データにより、トラブルシューティングの簡略化、設計サイクルの短縮化、品質の改善、歩留まりや性能の向上、生産コストの削減がもたらされます。 

デバイスの実稼動振動形状 (ODS) をアニメーション化したり、データの収集処理を最適化するには、MSA-500 にジオメトリ スキャン機能を追加します。この機能では、測定するオブジェクトの形状を計測することができます。

光学ユニット

MSA-500 の光学ユニットは、デバイスの面内振動、面外振動、表面形状を計測する機能を個別に、あるいは組み合わせて、合わせて 6 パターンの構成から選択できます。システムタイプに応じて、MSA-500 の測定顕微鏡センサヘッドには、顕微鏡光学系と、シングルポイント (OFV-551) または差分計測 (OFV-552) 光ファイバ干渉計を構成します。またすべての MSA-500 センサヘッドには、最適化された顕微鏡レンズ、内蔵型の LED イルミネーション ユニット、およびプログレッシブスキャン ビデオカメラが含まれます。このビデオカメラは、DMS (データマネジメント システム)へライブ画像を連続送信します。

処理ユニット

MSA-500 の処理ユニットには、MSA Software を搭載した DMS、MSA-E-500 ジャンクション ボックス、またレーザドップラ振動計を使用するシステムのみ OFV-5000 振動計コントローラが構成されています。

MSA Software

MSA Software は、次の異なるタイプのデータ収集・評価用ソフトウェアから構成されています。

  • Polytec Scanning Vibrometer (PSV) Software: 面外振動収集用。セットアップが簡単・短時間で実行でき、すぐにデータ収集を実行し、卓越した 3D 振動データ アニメーションを描画します。
  • Planar Motion Analysis (PMA) Software: 同様に、面外振動プロセスを制御し、動的に可視化します。
  • Topography Measurement System (TMS) Software: デバイスの表面形状や断面の輪郭データを収集、解析し、2D および 3D で表示します。

 

構成

MSA-500 マイクロシステム アナライザは、マイクロデバイスの特性評価に必要な、幅広い操作モードや測定レンジをカバーするように構成できます。構成の表では、お客様の計測要件に最適なシステムを見つけることができます。構成は、機能を 1 つに絞ることも、複数の機能を共存させることもできます。面外振動の計測では、構成をシングルポイント振動計または差分振動計から選択できます。差分振動計を選択した場合は、シングルおよび差分の両方を実行できます。 また高周波の計測には、標準の 1.5 MHz バージョンに加え、高周波データ収集と高周波波形ジェネレータを備えた 24 MHz オプションも選択できます。

 

 

 

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関連情報

Windows 7 へのアップグレードのご案内

弊社システムに使われているWindows XP の米マイクロソフト社による製品サポートが2014 年4 月9 日( 日本時間) で終了しました。
弊社では、お客様により良い環境下で末永く弊社システムをご使用いただくために、Windows 7 へのアップグレードを推奨しております。

対象システム

  • PSV-400 スキャニング振動計(関連製品も含む)
  • MSA-400 / 500 マイクロシステム アナライザ
  • Vibsoft 振動計ソフトウェア シリーズ
  • VDD PC ベースデジタル振動計
  • TMS 表面形状システム


一部の製品については、ハードウェアのアップグレードを伴う場合がございます。
アップグレードの必要性についてはご利用のシステムに依存いたしますので、
詳しくは、ポリテックジャパン・技術部までお問い合わせください。