MSA-100-3D マイクロシステム アナライザ

MSA-100-3D_Workstation

マイクロデバイスの 3D 振動測定がついに実現

新製品 MSA-100-3D マイクロシステムアナライザ はマイクロシステムや、精密機械部品、そしてデータストレージ業界においてヘッド・ジンバル・アッセンブリ(HGA)やその他のアクチュエータの挙動についての研究に特化した、高いXY分解能を誇る3D振動計システムです。25 MHzの周波数帯域の面外振動および面内振動の両方に対し、ピコメートル分解能を実現した、今までにない全く新しい3D振動計です。また、ソフトウェアで完全制御されたXY-トラバースステージを組み込むことにより、スキャニング測定が可能となり、高精度の3D振動形状を容易に計測することができます。

  • Real-time measurement with high bandwidth up to 25 MHz
  • Sub-pm displacement resolution for both Out-of-Plane and In-Plane motion
  • Single-Point and Full-Field scanning measurements
  • Small spot size of <4 μm for high lateral resolution
  • Large stand-off distance of 38 mm
  • Probe station compatible

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