顕微鏡型システム

Microscope-based Systems

ポリテックでは、近年身近にあるさまざまな製品に利用され、今後も大きな成長が見込まれる MEMS (Micro-Electro-Mechanical-System) 技術に注目し、MEMS の動的特性および表面形状を解析できる顕微鏡ベースの新システムを開発しました。

MSA-500 マイクロシステム アナライザは、MEMS のような微小構造物の表面形状や振動のビジュアル化や解析に最適な、包括的な計測システムです。またポリテックのモジュール型振動計では、標準の顕微鏡光学ユニットをベースに、面外および面内振動を測定できるツールを簡単に構成できます。すべての振動計システムはマニュアル / フルオート プローバに簡単に接続でき、ウェハレベルでの検査も実施できます。

 

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