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ポリテックでは身の回りのあらゆる製品に利用されており、今後も大きな成長が見込める MEMS 市場に注目し、MEMS の動的特性および表面形状を解析できる顕微鏡ベースのシステムを開発しました。MSA-500 マイクロシステム アナライザは、MEMS のような微小構造物の表面形状や振動のビジュアル化や解析に最適なツールです。また UHF-120 超高周波レーザドップラ振動計は、最大 1.2 GHz の面外振動を機械的に非接触で計測できます。こうしたシンプルな顕微鏡型システムは、既存の複雑な生産システムにも統合できます。たとえば、このシステムはマニュアル / セミオート プローバにも簡単に搭載できるため、ウェハレベル検査にも活用できます。
