マイクロ / ナノテクノロジ

Micro & Nano Technology

MEMS (微小電気機械システム) とは、ゲーム機、携帯電話、カーナビ、自動車、バイク、航空機、コンピュータ、医療用デバイスなど、あらゆる電子機器に搭載されている微小なマイクロセンサやマイクロ アクチュエータの総称です。MEMS の研究開発や生産技術に携わる技術者は、新しいデバイスを次々と短期間で、正確に、低コストで開発する必要に迫られています。
ポリテックはその革新的な非接触光学計測技術により、重要な電気的・物理的入力に対する動的機械応答について、ナノメータ以下の分解能による系統的な試験の実現を可能にしました。また、微細な 3D 表面を持つ構造体の静的特性も、ポリテックの白色光干渉計ならナノメータ スケールで計測できます。

“We have been using Polytec vibrometers for several years to characterize the dynamics of microsystems (MEMS) and nanosystems (NEMS). The level of support has been consistently excellent. The onsite visits for installation, calibration, and training are a major highlight. The engineers from Polytec are generous with their knowledge and experience, and our students benefit greatly from these visits.”
Srikar Vengallatore, Associate Professor and Canada Research Chair, McGill University, Montreal, Quebec, Canada

シミュレーション モデルの検証

Validation of Simulation Models

MEMS の研究開発では、デバイスの設計 > シミュレーション > 試作 > 試験へと工程が進められていきます。シミュレーションには正確なモデルが必要であり、正確なモデルを構築するには正確な実験データとの比較検証が必要です。光をプローブとして利用するポリテックの MEMS 計測システムでは、MEMS デバイスに物理的な影響を全く与えずに計測することができます。

適切な製造パラメータの検出

Find Parameters Relevant to Manufacturing

MEMS デバイスの製造プロセスの制御は、製造パラメータとそれが外寸に与える影響、および材料パラメータに関する情報が不可欠です。例えば、SOI (silicon-on-insulator) 技術を応用し 3 次元構造を持つ MEMS センサやアクチュエータを製造する場合、事前の開発段階においてデバイスの表面形状解析を行う必要があります。

MEMS デバイスの信頼性を向上

Improving MEMS Reliability

MEMS デバイスを環境チャンバや真空チャンバ内に設置し、機械的な加振、放射、温度、湿度、気圧など特定のストレスにさらして行われる信頼性試験は、デバイス開発における非常に重要なタスクです。ポリテックの MSA-500 マイクロシステム アナライザは、長い測定距離でこれらのチャンバ等と組み合わせて計測でき、特定の環境下における MEMS デバイスの静的・動的な特性を評価できます。

ウェハレベルの生産試験

Wafer-Level Production Testing

ウェハレベル検査を実施すると、パッケージ前にデバイスの特性評価と選別を行うことができ、MEMS の製造コストを節約できます。MSA-500 マイクロシステム アナライザはスタンドアロンでの使用だけでなく、オート / セミオート プローバとも容易に統合できるため、ウェハレベルでのデバイス評価に最適です。迅速な計測で高い生産性を実現、製造プロセスを監視する重要な検査システムとして役立ちます。

Ultrasonic sensor performance verification

Many micro-manufactured sensors, actuators and components vibrate at frequencies in the high MHz range. In order to verify the performance of microsystems like MEMS, NEMS, ultrasound transducers or SAW filters, the full-field and non-contact vibration measurement with ultra-high-frequency vibrometer represents the precise and reliable methodology.

 

 

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    応用事例

    技術パートナー

    • MEMUNITY - 革新的な MEMS テスト ソリューション