白色光干渉計の原理

Basics of White Light Interferometry

ポリテック 白色光干渉計の特長

ポリテックの白色光干渉計は、独自の光学系構成とコヒーレンス長の短い光源を採用し、試料から反射した光 (測定ビーム) と参照ビームの相互作用を最適化します。測定はマイケルソン干渉計の原理に基づいており、光学系 (上のイメージ) には、コヒーレンス長がミクロレンジの光源が搭載されています (コヒーレンス長が短いことは、スペクトル光源が "広い" ことを暗示します)。光源から照射された光は、ビーム スプリッタで測定ビームと参照ビームの 2 本のビームに分光されます。測定ビームは、測定オブジェクトに照射されて反射します。参照ビームはそのまま参照用の平面ミラーに反射します。それぞれのビームの反射光は、再度ビームスプリッタで捉えられ、再結合されます。重なったビームは CCD カメラによって画像化され、干渉の処理が行われます。

測定アーム上のオブジェクト ポイントへの光路長が、参照アーム上の光路長と同じとき、光源のスペクトルのすべての波長に干渉による強め合いが起こり、そのオブジェクト ポイントのカメラピクセルの明暗度は高くなります。このルールを満たさないオブジェクト ポイントでは、カメラピクセルの明暗度は大幅に低下します。 その結果、カメラフレーム出力を 1 ピクセルごとに処理することにより、どのオブジェクト ポイントが同じ高さにあるのかを判断できます。干渉計では、参照アームまたはオブジェクトのみがビームスプリッタに相対的に動く、つまり評価距離を横切るとき、オブジェクトの高さがスキャンされるとともに、干渉がピクセルごとに形成されます。測定の完了後、カメラフレームが解析され、試料表面の構造がデジタル化されます。

お客様の測定ニーズに対応する特別な TopMap シリーズ

テレセントリック干渉計の装置では、広い表面の形状を 1 回の測定で短時間に測定できます。

高い方位分解能を必要とする計測では、対物レンズに参照アームが内蔵されている顕微鏡システムがより適しています。

チュートリアル

ビデオ: 表面形状測定の概要

SURFACE METROLOGY VIDEO

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