平坦度 / 平行度

Flatness and Parallelism

平坦度は、圧力 / 真空技術、ディスプレイ用の透明フィルム、半導体部品、金属フランジ、セラミックなど、あらゆる加工機能表面にとって非常に重要なパラメータの 1 つです。TopMap システムでは、平坦度や平行度の測定が他に類を見ないほどシンプルに実行できます。ワークピースのさまざまな表面パラメータを、迅速に、かつ 1 回の測定で広範囲 (37 x 28 mm2) に測定できます。

ミラーホルダの平坦度

ポリテックの PSV-400 スキャニング振動計のジオメトリ スキャンユニットは、非常に精密なミラーホルダを内蔵しています。これらのホルダーは、ポリテック社内の製造チームが有するオートマシニング センターで製造されています。ミラーの取り付け表面は、機械加工時に掛かる応力によって歪んでしまう可能性があります。ポリテックでは、この歪みが規定の許容値からどのぐらいオーバーしているかを TopMap で計測し、製造の段階で再加工することでホルダーの性能を厳密に維持しています。

Mirror holder

Measurement setup

Good part

Bad part