三次元表面形状測定

  

 

表面形状の測定は、許容値の小さい精密な部品の生産に不可欠な工程です。こうした部品や構造体は、mm 以下から cm サイズまで、自動車、航空宇宙、半導体、データストレージ、マイクロデバイスやセンサの組立 / 製造、工学から化学まで、無数に幅広く利用されています。サブナノメータ レベルの垂直分解能を持つスキャニング白色干渉計は、従来の触針式の計測手法を大きく超越したメリットを実現しており、精密な部品形状や表面仕上げの品質管理工程に最適なツールとしての地位を確立しています。

広い表面を広範囲に測定

TMS-100 TopMap Metro.Lab および TMS-300 TopMap In.Line では、平坦度、平行度、ステップ高さなどの表面パラメータの測定に最適な、テレセントリック光学系レンズが採用されています。垂直スキャン範囲は最大 70 mm と高く、大きな段差に分かれていたり、ドリル穴のような高アスペクト比の表面でも計測できます。広い面積を高速、高精度で計測できる TMS シリーズは、単発検査でも、生産ラインでのインライン計測でも、製品の品質管理に最適なツールです。

マイクロデバイスの微細表面形状も測定

TMS-1200 TopMap µ.Lab には、顕微鏡光学系が搭載されており、その方位分解能の高さにより、粗さ、うねり、形状など、微小構造物の表面パラメータの計測が可能です。 MSA-500 マイクロシステム アナライザ は、このTMS-1200 TopMap µ.Lab 白色光干渉計のほかに、レーザドップラ振動計、ストロボスコープ ビデオ顕微鏡が一体となったシステムであり、MEMS などの微小構造体の静的特性、動的特性の両方を一台で測定できます。

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