Mikroskop-Systeme

Angeregt durch die wachsende Vielfalt Mikro-Elektro-Mechanischer Systeme (MEMS) präsentiert Polytec eine neue Produktlinie von Mikroskopsystemen zur Messung der Dynamik und Topographie von MEMS.

Der neue MSA-500 Micro System Analyzer ist ein weltweit einzigartiges All-in-One-Messsystem für die statische und dynamische 3D-Charakterisierung von MEMS-Bausteinen in der Mikrosystemtechnik.

Die Mikroskop-basierten MSV und PMA-Systeme zur Messung von Out-of-plane- bzw. In-plane-Schwingungen lassen sich über einen Standard-Kamera-Port in bestehende Messaufbauten integrieren.

Die Kombination mit kommerziell verfügbaren Probestations ermöglicht auch Testprozesse für MEMS auf Wafer-Level.

 


 
 Copyright 2007 Polytec GmbH. Änderungen der technischen Spezifikationen vorbehalten.
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MSA-500 Micro System Analyzer

All-in-One-Messystem für dynamische und statische Messungen an MEMS und anderen Mikrostrukturen.

  • Out-of-Plane-Schwingungen charakterisieren mit Scanning-Laservibrometrie

  • In-Plane-Bewegungen und Schwingungen messen mit stroboskopischer Videomikroskopie

  • Statische Topographie bestimmen mittels Weißlicht-Interferometrie

  • Wafer und Einzelbausteine prüfen durch Kombination mit einer MEMS Probe Station


 Features | Techn. Data | Applications | Download |
MSA-400 Micro System Analyzer
MSA-500 Micro System Analyzer

MSV-400 Microscope Scanning Vibrometer

Dieses System baut auf Standard-Mikroskop-Optiken auf und bietet vollflächige Untersuchungen der out-of-plane-Bewegung von MEMS-Mikrostrukturen.
 

  • Schwingfrequenzen bis zu 20 MHz
  • Geschwindigkeiten bis zu 10 m/s
  • Wegauflösung bis in den Sub-Picometer-Bereich

 Features | Technical Data | Applications | Datenblatt |
MSV-400 Microscope Scanning Vibrometer

MSV-050/100 Microscope Adapter

Die einfachste Verbindung zwischen Laservibrometrie und der MEMS-Welt, ermöglicht die Ankopplung eines Faseroptischen Interferometers an ein Mikroskop.

  • Präzise Einpunkt - und Differenzmessungen auf mikroskopischen Strukturen

  • Optionale Video-unterstützte Steuerung des Laaserstrahls mit hoher Auflösung

  • Modulares Design erlaubt einfaches Upgrade zum MSV-400 Microscope Scanning Vibrometer

 Features | Technical Data | Accessories | Datasheet |
MSV-050/100 Microscope Adapter

PSV Software

Das Softwarepaket für die Erfassung, Darstellung und Bearbeitung von out-of-plane Schwingungsmessdaten mit PSV-400, MSV-400 oder MSA-400-Systemen. PSVSoft ist ein leistungsstarkes Softwarepaket für
 
  • Gerätesteuerung
  • Datenverarbeitung
  • Intuitive und animierte Darstellung der Messergebnisse
  • Datenaustausch mit Modalanalyse-, FEM- u.a. Software

 Features | Rel. 8.5 | Rel. 8.4 | Rel. 8.3 | Updates |
PSV Software Beispiel

PMA Software

PMASoft ist das umfassende Softwarepaket für die Analyse von in-plane-Schwingungen mit Hilfe der stroboskopischen Videomikroskopie am MSA-400 Micro System Analyzer oder PMA-400 Planar Motion Analyzer.

  • Steuerungs- und Analysesoftware
  • Sub-pixel-Bildverarbeitung
  • Live slow-motion Video
  • Bode-plot, Step Response und Ring Down
  • Umfangreiche Auswertungsmöglichkeiten und Exportfilter

 Allgemein | PMA 2.5 | PMA 2.4 | Updates |
PMA Software Videoscreen

TMS Software

Die bedienerfreundliche TMS Software stellt alle wichtigen Steuer- und Auswertefunktionen für Polytec Topographie-Messsysteme und das MSA-400 mit Topographie-Option zur Verfügung, inklusive der 2D-, 3D-, Isolinien- und Profildarstellung. Die offene Softwarearchitektur erlaubt auch das Programmieren von Routineaufgaben beispielsweise mittels Visual Basic® oder die Einrichtung einer eigenen Benutzeroberfläche.
 Merkmale |
TMS Software