Vier-Spitzen-Messplätze zum Messen und Mappen von Flächenwiderständen
Der Flächenwiderstand einer Schicht und daraus abgeleitete Informationen wie der spezifische Widerstand, die Ladungsträgerdichte oder die Schichtdicke sind Basiskenngrößen die in vielen Bereichen der Halbleiter- und der Photovoltaikindustrie benötigt werden. Eine bewährte Methode zur Bestimmung dieser Größen ist die Vier-Spitzen-Messtechnik.
Mehr als 30 Jahre Erfahrung von 4Dimensions auf diesem Gebiet spiegeln sich in der großen Vielfalt und vielen ausgereiften Detaillösungen der hier vorgestellten Systeme wieder.
|
