Mikrosystem-Technik

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Neues Demo Video
Charakterisierung von Mikrotrukturen

Projekt PAR-TEST: MEMS-Charakterisierung schon im Frühstadium der Produktion  

MEMS-Messung im Sekundentakt

Die Mikrosystemtechnik, vor ein paar Jahren noch ein exotisches Forschungsgebiet, ist inzwischen zu einer nicht mehr wegzudenkenden Komponente vieler Produkte geworden.

Beispiele für etablierte Anwendungen der MEMS-Technologie sind Automobil-Sensoren, Unterhaltungselektronik oder Telekommunikation.

Auf der Grundlage langjähriger Erfahrung und profunden Wissens auf dem Gebiet der berührungslosen Schwingungsmesstechnik kann Polytec eine Reihe von Produkten für die Charakterisierung der Strukturdynamik von MEMS anbieten.

Applikationen

VIB-M-07: Vakuum-Messungen am NPL (englisch)

Entwicklung von Automotive-MEMS-Sensoren

MEMS-Geometrie und Schwingungen (englisch)

Simulation von Mikrostrukturen

>>> Weitere Applikationsnoten

Produkte

MSA-00 Micro System Analyzer

MSV-400 Micro Scanning Vibrometer

PMA-400 Planar Motion Analyzer

MSV-050/100 Microscope Adapter

Links

MEMUNITY - Innovative MEMS Testing Solutions

Polytec Tutorial:
3-D-Schwingungs- und Bewegungsanalyse von Mikrostrukturen

LM INFO Special 1/2005: 
Mikrostrukturen dynamisch messen

 

 

MSA-500 Micro System Analyzer

All-in-One-Messystem für dynamische und statische Messungen an MEMS und anderen Mikrostrukturen.

  • Out-of-Plane-Schwingungen charakterisieren mit Scanning-Laservibrometrie

  • In-Plane-Bewegungen und Schwingungen messen mit stroboskopischer Videomikroskopie

  • Statische Topographie bestimmen mittels Weißlicht-Interferometrie

  • Wafer und Einzelbausteine prüfen durch Kombination mit einer MEMS Probe Station


 Features | Techn. Data | Applications | Download |
MSA-400 Micro System Analyzer
MSA-500 Micro System Analyzer

MSV-400 Microscope Scanning Vibrometer

Dieses System baut auf Standard-Mikroskop-Optiken auf und bietet vollflächige Untersuchungen der out-of-plane-Bewegung von MEMS-Mikrostrukturen.
 

  • Schwingfrequenzen bis zu 20 MHz

  • Geschwindigkeiten bis zu 10 m/s

  • Wegauflösung bis in den Sub-Picometer-Bereich


 Features | Technical Data | Applications | Datenblatt |
MSV-400 Microscope Scanning Vibrometer

PMA-400 Planar Motion Analyzer

Der PMA-400 ermöglicht die Analyse der in-plane-Bewegungen von Mikrostrukturen.

  • Frequenzen bis zu 1 MHz und Auflösungen besser als 10 nm

  • Voll integriertes Hochleistungs-Bildverarbeitungssystem auf der Basis einer speziell entwickelten stroboskopischen Videomikroskopie


 Features | Technical Data | Datenblatt |
PMA-400 Planar Motion Analyzer

MSV-050/100 Microscope Adapter

Die einfachste Verbindung zwischen Laservibrometrie und der MEMS-Welt, ermöglicht die Ankopplung eines Faseroptischen Interferometers an ein Mikroskop.

  • Präzise Einpunkt - und Differenzmessungen auf mikroskopischen Strukturen

  • Optionale Video-unterstützte Steuerung des Laaserstrahls mit hoher Auflösung

  • Modulares Design erlaubt einfaches Upgrade zum MSV-400 Microscope Scanning Vibrometer

 Features | Technical Data | Accessories | Datasheet |
MSV-050/100 Microscope Adapter



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