Optische Topographie und Ebenheitserfassung an MikrostrukturenDas TMS-1200 TopMap µ.Lab ist ein Messmikroskop auf Basis der bewährten TopMap Interferometer-Technologie zur flächenhaften und hochauflösenden optischen Erfassung der 3D-Topografie von Oberfllächen und zur Bestimmung abgeleiteter Parameter wie Ebenheit, Welligkeit und Rauheit. Die Messung erfolgt berührungslos und damit gegenüber konventioneller taktiler Messtechnik rückwirkungs- und zerstörungsfrei. Einfach und schnell kann die Struktur von rauen und auch spiegelnden Oberflächen mit dem Komplettsystem erfasst werden. Eine spezielle Präparation der Oberfläche ist nicht erforderlich, denn selbst bei extremen Kontrastverhältnissen erlaubt die Smart-Surface-Scan Technologie ein problemloses Messen.
Das TopMap µ.Lab arbeitet nach dem Prinzip der Weißlicht-Interferometrie mit einer Auflösung im Nanometerbereich. Da die komplette Fläche in einem Messvorgang erfasst wird und nicht aus einzelnen Linien zusammengesetzt wird, kann eine Messung häufig in wenigen Sekunden durchgeführt werden. Das Ergebnis kann am Bildschirm interaktiv oder automatisiert mit Hilfe der zahlreichen Funktionen der TMS-Software ausgewertet werden. Die komplett offen gelegte Automatisierungsschnittstelle ermöglicht eine Kontrolle des Mess- und Auswertevorganges aus anderen Applikationen heraus.
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TopMap µ.Lab Messobjektiv |
