Der TMS-100/120 TopMap Master von Polytec ist ein hochgenaues Weißlicht-Interferometer mit einem großen vertikalen Verfahrweg und einer Auflösung im Nanometerbereich. Die berührungsfreie Messung von Ebenheiten, Höhenabständen, Parallelität großer Flächen und Strukturen auch weicher Materialien sind daher ideale Anwendungen für das TMS-100/120 Topographiemesssystem.
Als eine komplette Messstation ist der TMS-100 Master ideal für die Messung großflächiger Topographien nahezu aller Oberflächen geeignet. Hier müssen häufig enge Toleranzen von strukturierten Funktionsoberflächen überprüft werden, wobei das große Gesichtsfeld des TMS-100 Master einen entscheidenden Vorteil bietet.
Die große z-Dynamik von 70 mm erlaubt die Messungen von Ebenheiten, Welligkeiten und Parallelitäten auch unter schwierigen Bedingungen, beispielsweise in Bohrungen oder auf Werkstücken mit hohen Stufen. Durch den telezentrischen Aufbau werden dabei Schatteneffekte weitgehend vermieden.
Ebenso können klassische Oberflächenparameter, bei denen bisher vornehmlich Tastsysteme verwendet werden, mit dem TMS-100 Master leicht erfasst werden. Da die komplette Fläche in einem Messvorgang erfasst wird und nicht aus einzelnen Linien zusammengesetzt wird, kann eine Messungen häufig in wenigen Sekunden durchgeführt werden. Dabei arbeitet die Weißlicht-Interferometrie als berührungslose Messmethode auch bei weichen oder filigranen Oberflächen absolut zerstörungsfrei.
Für Werkstücke, die größer als das verfügbare Gesichtsfeld des TMS-100 sind, ist eine weitere Ausführung der Messstation (TMS-120) mit einer Verschiebemöglichkeit um 50 mm x 50 mm (in x-/y-Richtung) erhältlich. Die Gesamtoberfläche wird durch die Software aus den Einzelmessungen zusammengefügt (Stitchen). Damit sind dann beträchtlich größere Messfelder bis ca. 80 mm x 80 mm erreichbar.
Ein sehr gutes Preis-/Leistungsverhältnis macht den Einsatz des TMS-100/120 auch für kleinere Firmen mit geringerem Aufgabenvolumen attraktiv.
Der TMS-100 Master ist mit der bedienerfreundlichen TMS Software von Polytec ausgerüstet, die alle wichtigen Steuer- und Auswertefunktionen zur Verfügung stellt. Ihre offene Softwarearchitektur erlaubt auch das Programmieren von Routineaufgaben beispielsweise mittels Visual Basic® oder die Einrichtung einer eigenen Benutzeroberfläche.
Als Beispiel ist hier ein Abschnitt aus einem mehrere cm großen Diagnosechip gezeigt. Der Chip besteht aus einem transparenten Kunststoff mit Kanälen und Kammern für die biochemischen Reaktionen.
Ebenheitsmessungen in Sackbohrungen
Eine besondere Herausforderung ist die Messung der Ebenheit und Parallelität von Basis- und Bohrflächen in Sacklöchern bei ungünstigen Seitenverhältnissen (eng und tief). Das TMS-100 kann noch in schmalen Bohrungen bis zu 70 mm Tiefe messen.
