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Anwendungen |
Der Bedarf an Oberflächenmessungen geht quer durch alle Branchen. Komponenten und Strukturen vom μm- bis in den cm-Bereich finden sich beispielsweise in der Halbleiterindustrie und Datentechnik, bei Mikrostrukturen und Sensoren, aber auch im Maschinenbau und Automotive-Sektor. |
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Copyright 2007 Polytec GmbH. Änderungen der technischen Spezifikationen vorbehalten. |
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Strukturierte Funktionsoberflächen
Funktionale Oberflächen mit engen Toleranzen erfordern hochpräzise Messsysteme, die in kurzer Zeit flächig die Topographie aufnehmen können, beispielsweise die mit einer Genauigkeit von wenigen Nanometern oder sogar von Subnanometern in vertikaler Richtung arbeitende Weißlicht-Interferometrie.
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 Zerstäuber-Membran |
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Ebenheitsmessungen in Sackbohrungen
Eine besondere Herausforderung ist die Messung der Ebenheit und Parallelität von Basis- und Bohrflächen in Sacklöchern bei ungünstigen Seitenverhältnissen (eng und tief). Das TopMap Pro.Lab kann noch in schmalen Bohrungen bis zu 50 mm Tiefe und das TopMap Metro.Lab bis zu 70 mm Tiefe messen.
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 Messung in einem tiefen Bohrloch |
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Oberflächenmessung in Produktionsumgebungen
Die Charakterisierung von Oberflächen durch geeignete Parameter ist seit Langem eine wichtige Methode in der Qualitätssicherung. Mit TopMap Weißlicht-Interferometern lassen sich kurze Prüfzeiten sehr gut realisieren. Die Messung selbst ist schnell und vollständig automatisiert, ebenso die Auswertung, Speicherung und Übermittlung des Ergebnisses an die Prozessleittechnik.
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 TopMap In.Line in der Produktion |
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Qualitätskontrolle an Festplattenbauteilen
Bei dem im Bild gezeigten Beispiel handelt es sich um ein mit Rillen versehenes Bauteil aus dem hydrodynamischen Lager einer Festplatte. Das TopMap Pro.Lab bestimmt mit Nanometer-Genauigkeit die komplexe Topographie der gerillten Oberfläche.
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 Topographie einer Festplattenkomponente |
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Topographieerfassung
Topographische Aufnahmen ermöglichen eine qualitative Charakterisierung von Bauteilen. Dabei kann es sich um kleine Bauteile aus der Halbleiterindustrie oder größere Bauteile aus dem Motorenbereich handeln. Alle Arten von Präzisionsoberflächen können mit dem TopMap nanometergenau erfasst und vermessen werden.
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 Topographie eines Laserchips |
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Welligkeit
Die Welligkeit von Bauteilen kann insbesondere bei optischen Komponenten kritisch sein. Zur Qualitätskontrolle kann die Welligkeit mit den Polytec Weißlichtinterferometern schnell vermessen werden und somit die Produktionsparameter schnell angepasst werden.
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 Welligkeit einer Plastikfolie |
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TopMap Applikationsnoten
Polytec Applikationsnoten informieren über den Einsatz der optischen Messsysteme von Polytec in unterschiedlichsten Anwendungsbereichen, von der Halbleiterindustrie, Datentechnik, über Mikrostruktur- und Sensortechnik bis zu Maschinenbau und Automobilindustrie. Die folgende Downloadseite enthält Applikationsnoten speziell für Einsatzgebiete der TopMap-Systeme.
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 Polytec Applikationsnote |
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