Topographie de surface 3D

La mesure de topographie de surface d'une pièce ou d'un composant intervient pour beaucoup sur sa fiabilité et sa précision. Toutes les industries sont concernées et ce quelque soit la taille de la structure (du picomètre au centimètre) à mesurer les véhicules à moteur, l'aérospatial, les semi-conducteurs et le stockage de données. Mesurant avec la résolution de subnanometer dans la direction verticale, l'interférométrie de balayage par lumière blanche est énormément supérieure aux méthodes traditionnelles de mesure de contact et est devenue l'outil préféré pour le contrôle de qualité industriel de la géométrie de pièce de précision et de la finition de surface.

Les mesures de surfaces larges

Le TMS-500, le TMS-100 et le TMS-300 sont des systèmes d’inspections télécentriques idéalement utilisés pour des mesures de surfaces aux configurations particulières telles que les surfaces planes, parallèles ou la hauteur des marches. La vaste étendue de balayage vertical de plus de 70mm permet de mesurer les surfaces séparées par de larges marches ou profondément encastrées, comme pour les plates formes de forages par exemple. La rapidité et la précision sur de vastes surfaces font de ces interféromètres l’outil optimal pour le contrôle qualité, sur des tests ponctuels ou sur des mesures en direct.

Micro-topographie des structures fines

Les systèmes avec des configurations optiques microscopiques comme le TMS-1200 TopMap µ.Lab disposent d'une haute résolution latérale, permettant des mesures sur des microstructures afin de déterminer les paramètres de surface comme les paramètres de rugosité, d'ondulation et de forme. Le MSA-500 Micro System Analyzer combine interférométrie par lumière blanche, vibrométrie laser et vidéo microscopie stroboscopique pour la caractérisation à la fois statique et dynamique des MEMS et autres microstructures.

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