MSA-500 : Analyseur de microstructures

Le MSA (Micro System Analyzer) est une technologie unique qui permet d'analyser, de visualiser et de mesurer les vibrations ou la topographie de microstructures tels que les MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems). En combinant les technologies de la vibrométrie Laser Doppler, la vidéo stroboscopique et l'intéférométrie par lumière blanche, l'analyseur de microsystèmes MSA-500 permet une caractérisation 3D dynamique des MEMS, MOEMS et autres microstructures avec précision et rapidité.

MSA Optical Unit

L'unité optique du MSA existe en six configurations qui permettent (individuellement ou si on les associe) de faire des mesures sur-le plan, hors-plan ou topographiques. Selon la configuration du système, il pourra être équipé d'un microscope MSA-500, d'optiques monopoint (Polytec OFV-551) ou multipoints (Polytec OFV-552), d'un interféromètre à fibre optique. Pour toutes les configurations, la tête optique du MSA-500 est équipée d'un microscope, d'une source d'éclairage à LED et d'une caméra vidéo (DMS). 

MSA Processing Unit

Le traitement des données est assuré par le MSA-500 Processing Unit qui comprend le Data Management System, le logiciel MSA Software, la boîte de jonction MSA-E-500. Et pour les pour les configurations incluant la fonction vibrométrie laser, le contrôleur de vibromètre OFV-5000 sera fourni.

 

MSA Software

Le logiciel MSA Software dispose de plusieurs programmes pour l'acquisition et l'analyse des données:

  • Le logiciel PSV Software pour les mesures hors-plan permet une installation rapide et facile du système. Il permet de faire l'acquisition des données et visualisation 3D des résultats de mesure.
  • Le logiciel Planar Motion Analysis (PMA) Software permet quant à lui une mesure sur-le-plan et fournit une visualisation dynamique des résultats de mesure.
  • Le logiciel du TMS (Topography Measurement System) est utilisé pour l'acquisition des données de mesure, l'analyse, et la représentation 2-D et 3-D avec des vues de profil.

 

Configurations

L'analyseur de microsystèmes MSA-500 peut être configuré pour permettre de couvrir plusieurs modes opérationnels et gammes de mesures indispensables à la caractérisation des microstructures. Un tableau de configuration permet d'adapter les fonctionnalités de votre système à votre application de mesure. Polytec propose des systèmes pour des mesures combinées ou non. Pour les mesures hors-plan, le MSA-500 peut effectuer une mesure monopoint ou différentielle. Des systèmes permettent même de cumuler ces deux techniques de mesures. La version standard 1.5 MHz est évolutive, car l'option 24 MHz permet d'effectuer une caractérisation très haute fréquence.

 

 

 

Votre Contact

Responsable Département OMS Florent Deux


Tel. +33 (0)1 49 65 69 04
f.deux@polytec.fr

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