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La nécessité croissante de caractériser la dynamique et la topographie des Micro-Électro-Mécanique-Systèmes (MEMS), a motivé Polytec à développer une ligne innovante de systèmes basés sur microscope pour mesurer la dynamique et la topographie des microsystèmes et des dispositifs de MEMS. L'analyseur de microstructures MSA-500 est unique sur le marché. Il permet l'analyse et la visualisation des vibrations structurelles et la topographie sur des microstructures. Les systèmes proposés par Polytec permettent une mesure de vibrations hors-plan et s'adaptent particulièrement bien aux environnements de production. Pour les tests de wafers, le peut être monté sur une station de travail manuelle ou robotisée.
