TopMap Metro.Lab

Le TMS-100 TopMap Metro.Lab est préconisé pour la mesure topographique 3D sans contact. Utilisant le principe de l'interférométrie par lumière blanche, l'interféromètre est déplacé par rapport à l'échantillon observé de façon à créer les points d'interférence sur chaque pixel de l'image vidéo, et selon la taille de l'objet. On obtient alors la topographie 3D de la surface étudiée. Parmi les exemples d'applications : mesure de dimensions, contrôle qualité en ligne de production, mesure de rugosité, de planéité, de profil et de forme.

Mesure de topographie jusqu'à 20 nanomètres. Possibilité de caractériser plusieurs structures parallèles distantes de 70 mm.

  • Mesure de topographie sans contact par interférométrie
  • Mesure de rugosité, de planéité, de profil et de relief
  • Mesure de topographie jusqu'à 20 nanomètres. Possibilité de caractériser plusieurs structures parallèles distantes de 70 mm
  • Possibilité d'augmenter le champ visuel 80 mm x 80 mm (option)

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Laurent Melin


Tel. 01 49 65 69 00
l.melin@polytec.fr

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