Caractérisation de macro-micro structures

Cette video présente le MSA (Micro System Analyzer), son principe de fonctionnement, les applications possibles et plus particulièrement les avantages qu'il apporte pour la caractérisation des MEMS/NEMS en phase de R&D.

La première partie peut être téléchargée sur ce lien. Le DVD, plus complet, présente des exemples d'applications où le MSA s'intègre à une station de test pour l'analyse des wafers.