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Les MEMS sont des microsystèmes électromécaniques composés de micro-capteurs et de micro-actionneurs. Issus de la technologie de la micro-électronique, les MEMS font appel pour leur fabrication aux microtechnologies, et sont utilisés dans l’automobile, l’aéronautique, la médecine, la biologie, les télécommunications, ainsi que dans certaines applications « de tous les jours » telles que les vidéoprojecteurs, téléviseurs haute-définition ou airbags de sécurité automobiles. Les ingénieurs R&D font appel à la métrologie optique sans contact pour caractériser systématiquement la réponse mécanique dynamique électrique et physique de ces micro ou nano composants.
Validation de modèles FEM
Les Centres de Recherche travaillant sur les MEMS utilisent de nombreux outils d'ingénierie la conception, le prototypage et l'essai. Des modèles de simulation sont validés et réglés avec précision par des comparaisons avec des données expérimentales précises. À l'aide de la vibrométrie ou de l'interférométrie laser, la mesure n'influence pas le comportement du MEMS pendant sa caractérisation.
Validation of MEMS Models Application Note VIB-M-06
Optimiser la fiabilité des MEMS
Il est très important de pouvoir vérifier la fiabilité des MEMS malgré des contraintes de vibrations mécaniques, de radiation, de température, d'humidité, ou de pression. Le MSA (Micro System Analyzer) permet d'effectuer une caractérisation de vos micro-composants malgré ces contraintes imposées par votre environnement ou la pièce à étudier.
Monitoring MEMS Motion Under Vacuum Application Note VIB-M-07
Définir les paramètres appropriés en phase de fabrication
L'analyse de l'ensemble des paramètres des MEMS sont nécessaires pour déterminer le processus de fabrication de ceux-ci. En particulier, pour faire une caractérisation 3D des couches de silicium employés sur certains micro ou nano composants.
The Ups and Downs of Microsensors Out-of-plane Topography of 3-D Surface Micromachined Microsensors (InFocus 2/2008)
Test de fabrication sur des WAFER
Le fait de tester des Wafer permet de caractériser et sélectionner au préalables les bons matériaux du composants. Pour cela, le micro analyseur MSA-500 peut être facilement intégré à vos stations de tests. La mesure rapide permet de mettre rapidement au point un composant et de surveiller le processus de fabrication.
Wafer Level Measurement s of MEMS Dynamics Application Note VIB-M-04Technology
MEMS Workstations: Micro-Motion Analysis, Assemble, Test and Repair (D. Cardon, LM INFO Special 1/2005)
Partners
MEMUNITY - Innovative MEMS Test Solutions