Micro & Nano Technologies

Micro & Nano Technology

Les MEMS sont des microsystèmes électromécaniques composés de micro-capteurs et de micro-actionneurs. Issus de la technologie de la micro-électronique, les MEMS font appel pour leur fabrication aux microtechnologies, et sont utilisés dans l’automobile, l’aéronautique, la médecine, la biologie, les télécommunications, ainsi que dans certaines applications « de tous les jours » telles que les vidéoprojecteurs, téléviseurs haute-définition ou airbags de sécurité automobiles. Les ingénieurs R&D font appel à la métrologie optique sans contact pour caractériser systématiquement la réponse mécanique dynamique électrique et physique de ces micro ou nano composants.

“We have been using Polytec vibrometers for several years to characterize the dynamics of microsystems (MEMS) and nanosystems (NEMS). The level of support has been consistently excellent. The onsite visits for installation, calibration, and training are a major highlight. The engineers from Polytec are generous with their knowledge and experience, and our students benefit greatly from these visits.”
Srikar Vengallatore, Associate Professor and Canada Research Chair, McGill University, Montreal, Quebec, Canada

Validation de modèles FEM

Validation of Simulation Models

Les Centres de Recherche travaillant sur les MEMS utilisent de nombreux outils d'ingénierie la conception, le prototypage et l'essai. Des modèles de simulation sont validés et réglés avec précision par des comparaisons avec des données expérimentales précises. À l'aide de la vibrométrie ou de l'interférométrie laser, la mesure n'influence pas le comportement du MEMS pendant sa caractérisation.

Définir les paramètres appropriés en phase de fabrication

Find Parameters Relevant to Manufacturing

L'analyse de l'ensemble des paramètres des MEMS sont nécessaires pour déterminer le processus de fabrication de ceux-ci. En particulier, pour faire une caractérisation 3D des couches de silicium employés sur certains micro ou nano composants.

Optimiser la fiabilité des MEMS

Improving MEMS Reliability

Il est très important de pouvoir vérifier la fiabilité des MEMS malgré des contraintes de vibrations mécaniques, de radiation, de température, d'humidité, ou de pression. Le MSA (Micro System Analyzer) permet d'effectuer une caractérisation de vos micro-composants malgré ces contraintes imposées par votre environnement ou la pièce à étudier.

Test de fabrication sur des WAFER

Wafer-Level Production Testing

Le fait de tester des Wafer permet de caractériser et sélectionner au préalables les bons matériaux du composants. Pour cela, le micro analyseur MSA-500 peut être facilement intégré à vos stations de tests. La mesure rapide permet de mettre rapidement au point un composant et de surveiller le processus de fabrication.

Ultrasonic sensor performance verification

Many micro-manufactured sensors, actuators and components vibrate at frequencies in the high MHz range. In order to verify the performance of microsystems like MEMS, NEMS, ultrasound transducers or SAW filters, the full-field and non-contact vibration measurement with ultra-high-frequency vibrometer represents the precise and reliable methodology.

 

 

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