MSA-100-3D Micro System Analyzer

MSA-100-3D_Workstation

3D-Schwingungsmessungen an Mikrostrukturen

Der MSA-100-3D Micro System Analyzer ist ein Messsystem zur dreidimensionalen Schwingungsanalyse an Mikrosystemen.

Besonders ist bei ihm die Amplitudenauflösung im sub-Pikometer-Bereich für alle drei Raumrichtungen, d.h. sowohl senkrecht zur Bauteilebene (Out-of-Plane, OOP) als auch in der  Bauteilebene (In-Plane, IP).

Zusammen mit der hohen lateralen Auflösung aufgrund eines mikroskopisch kleinen Laserspots und der Frequenzbandbreite von 25 MHz ist das MSA-100-3D ein ideales Messgerät zur Untersuchung mikro-elektromechanischer Sensoren und Aktuatoren (MEMS) und anderer mikromechanischer Strukturen.

Der optional integrierte XY-Verfahr-Tisch sorgt im Zusammenspiel mit der Software für die hochpräzise Bewegung der Probe.

  • Echtzeitmessung mit hoher Bandbreite 25 MHz
  • Amplitudenauflösung im sub-Pikometer-Bereich für Out-of-Plane und In-Plane Bewegungen
  • Sowohl Einpunkt- als auch vollflächige Messungen
  • Kleiner Laserpunkt <4 μm ermöglicht höchste laterale Auflösung
  • Große Arbeitsabstände bis 38mm
  • Probe Station kompatibel

 

 

 

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