Mikroskop-Systeme

Microscope-based Systems

Angeregt durch die wachsende Vielfalt Mikro-Elektro-Mechanischer Systeme (MEMS) präsentiert Polytec eine innovative Produktlinie von Mikroskopsystemen zur Messung der Dynamik und Topographie von MEMS.

Der MSA-500 Micro System Analyzer ist ein weltweit einzigartiges All-in-One-Messsystem für die statische und dynamische 3D-Charakterisierung von MEMS-Bausteinen in der Mikrosystemtechnik. Die Kombination von Polytecs Mikroskop-Systemen mit kommerziell verfügbaren Probestations ermöglicht auch Testprozesse für MEMS auf Wafer-Level.

 

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