Vollautomatische Cassette to Cassette Systeme

"Cassette to Cassette" System

Die "Cassette to Cassette" Systeme für 200 und 300 mm Wafer verbrauchen durch ein besonderes Handlingkonzept wenig kostbaren Reinraumplatz. Auch eine FOUP Variante für 300 mm Wafer ist erhältlich.

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