Der Flächenwiderstand einer Schicht und daraus abgeleitete Informationen wie der spezifische Widerstand, die Ladungsträgerdichte oder die Schichtdicke sind Basiskenngrößen, die in vielen Bereichen der Halbleiter- und der Photovoltaikindustrie benötigt werden. Eine bewährte Methode zur Bestimmung dieser Größen ist die Vier-Spitzen-Messtechnik.