Doppelbrechungsanalyse

Die Doppelbrechung eines Materials (Birefringence), sprich Unterschiede in der Brechzahl in Abhängigkeit von der Polarisation und Ausbreitungsrichtung des Lichts, kann einen Lichtstrahl und zwei orthogonal polarisierte Lichtstrahlen aufspalten.

Änderungen in der Doppelbrechung in Gläsern, Wafern oder anderen optisch transparenten Materialien werden beispielsweise durch mechanische Spannungen, Materialfehler oder äußere mechanische Belastungen indiziert. Zur präzisen Analyse dieser Doppelbrechung dienen unsere LBA- und MBA-Systeme.

Die Anwendungen der Doppelbrechungsanalyse:

  • Spannungsanalyse optischer Materialien (Glas, Wafer, Polymere, …)
  • Erkennen lokaler Defekte, z.B. in Wafern
  • Messung großer Glasplatten
  • Komponentenanalyse in der Fotolithographie
  • Für die Qualitätskontrolle
     

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