Polytec: TMS-100 TopMap Metro.Lab

Als eine komplette Messstation ist das TMS-100 TopMap Metro.Lab ideal für die Messung großflächiger Topographien nahezu aller Oberflächen geeignet. Die große vertikale Dynamik von 70 mm erlaubt Messungen auch unter schwierigen Bedingungen bei 20 nm Auflösung. Ein sehr gutes Preis-/Leistungsverhältnis macht den Einsatz des TopMap Metro.Lab auch für kleinere Firmen mit geringerem Aufgabenvolumen attraktiv. Das Gerät kann beispielsweise in einem Messraum eingesetzt werden und viele Aufgaben übernehmen, für die bisher taktile Systeme verwendet wurden. Wie bei allen TopMap Systemen erlaubt die offene Software-Architektur auch das Programmieren von Routineaufgaben oder die Einrichtung einer eigenen Benutzeroberfläche.

Berührungslos durch optisches, interferometrisches Messprinzip
Messung auch an steilen Stufen (z.B. Bohrlöchern) möglich durch telezentrische Optik
Flexibel durch 70 mm Verfahrweg
Schnelle Messungen auch großer Flächen
Großes Messfeld bis ca. 80 mm x 80 mm mit der erweiterten Version

TMS-100 Hardware		Standardausführung	mit XY-Positioniertisch
Abmessungen [L x B x H]		580 mm x 340 mm x 372 mm
Gewicht		ca. 27 kg	ca. 30 kg
Netzanschluss		100...240 VAC ±10 %, 50/60 Hz; max. 40 W	max. 100 W
Betriebs-/Lagerungstemperatur		+5 °C ... +35 °C / -10 °C ... +65 °C
Luftfeuchtigkeit		max. 80 %, nicht kondensierend
Lampensysteme		IEC/EN 62471:2009-03
Elektrische Sicherheit		IEC/EN 61010-1: 2002-08; EMV: IEC/EN 61326: 2006-10
Lieferumfang		Interferometer, Desktop-PC mit TFT-Monitor, Verbindungskabel, 1 Referenzfilter, TMS-Software mit Hardlock (Dongle)
Optionales Zubehör		Weitere Referenzfilter, λ/20-Platte, Kalibrierset
Optik
Messprinzip		Scannende Weißlicht-Interferometrie (Michelson)
Optischer Aufbau		Telezentrisch; Lichtquelle: langlebige LED, 525 nm
Vertikaler Messbereich		70 mm
Ausführung	Pixel- Auflösung	Max. Messfeldgröße
Ausführung	Pixel- Auflösung	Standardausführung	mit XY-Positioniertisch
Mit Kamera scA 640	58 µm	38 mm x 28 mm	88 mm x 78 mm
Mit Kamera scA 1000	36 µm	37 mm x 28 mm	87 mm x 78 mm

Leistungsmerkmale

Spezifikationen für die z-Performance ¹⁾
Auswerteverfahren	Glatte Oberflächen ²⁾	Raue Oberflächen ³⁾
Auflösung 50 Mittelungen (rms)	250 pm	3 nm
Auflösung Einzelmessung (rms)	1 nm	25 nm
Typische Ebenheitsmessung ⁴⁾
Auswerteverfahren	Glatte Oberflächen ²⁾	Raue Oberflächen ³⁾
Ebenheitsabweichung	100 nm	375 nm
Wiederholpräzision bei Ebenheitsmessung	20 nm	50 nm

¹⁾ Empirisch ermittelte typische Spezifikationsparameter für die z-Performance des TMS-100 Systems bei der Messung an einem Planspiegel (95 % des maximalen Messfeldes, Interferenzkontrast ˜1)

²⁾ Auswertung Korrelogramm-Phase

³⁾ Auswertung Korrelogramm-Hüllkurve

⁴⁾ Gerundete Werte der aus empirischen Messdaten und einer statistischen Auswertung ermitteltem Abweichung der gemessenen Ebenheit für verschiedene TMS-100 Geräte bei verschiedenen Abtastschrittweiten für die beiden Auswerteverfahren; Messung an einem Planspiegel (95 % des maximalen Messfeldes, Interferenzkontrast ≈1)

Typische Stufenhöhenmessungen ¹⁾
Nominelle Rillentiefe	µm	5	50	450	1000	2000	5000
Wiederholpräzision ²⁾ (Standardabweichung)	µm	0,39	0,30	0,24	0,28	0,21	0,22
Relative Wiederholpräzision	%	7,8	0,6	0,05	0,03	0,01	0,004
Erweiterte Messunsicherheit ³⁾	µm	0,5	3,75	7,5	7,5	7,5	7,5
Relative erweiterte Messunsicherheit ³⁾	%	10	7,5	1,67	0,75	0,38	0,15

¹⁾ Empirisch ermittelte typische Performance bei der Messung an einem kalibrierten PTB Tiefen-Einstellnormal Typ A1 (ISO 5436-1)

²⁾ Streuung der Messwerte für eine Messreihe unter Wiederholbedingungen gemittelt über mehrere Messgeräte

³⁾ Intervallgrenze eines Vertrauensbereichs mit 99,7% Wahrscheinlichkeit (3σ), bestimmt aus der Standardabweichung vom kalibrierten Wert über alle Messungen an der jeweiligen Stufe

Measurement on a mirror holder

TMS-100 Measurement System

TMS-100 Metro.Lab with Workstation

Media

TMS-100 TopMap Metro.Lab Datenblatt

Applikationen

Spiegelhalter für optische Scanner exakt plan gefertigt mit TopMap

Sub-Nanometer im Fokus

3D-Vermessungen an Stoßdämpferkolben

Weitere Informationen

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