Angeregt durch die wachsende Vielfalt Mikro-Elektro-Mechanischer Systeme (MEMS) präsentiert Polytec eine innovative Produktlinie von Mikroskopsystemen zur Messung der Dynamik und Topographie von MEMS und Mikrosystemen. Der MSA-500 Micro System Analyzer ist ein weltweit einzigartiges All-in-One-Messsystem für die statische und dynamische 3D-Charakterisierung von MEMS-Bausteinen in der Mikrosystemtechnik. Die Kombination mit kommerziell verfügbaren Probestations ermöglicht auch Testprozesse für MEMS auf Wafer-Level.

• MSA-500 Micro System Analyzer
• MSA-050-3D Micro System Analyzer
• UHF-120 Ultra-High Frequency Vibrometer
• TopMap µ.Lab