In der industriellen Fertigung muss die Einhaltung gegebener Toleranzen möglichst häufig kontrolliert werden. So lassen sich mangelhafte Teile vor jedem Weiterverarbeitungsschritt aussortieren und damit unnötige Kosten vermeiden.  Viele Oberflächen können mit den Weißlicht-Interferometern schnell und großflächig auf Defekte, Formabweichungen, Auswürfe, fehlende Verbindungen oder Abbrüche quantitativ untersucht werden. Auch eine permanente oder stichprobenartige Prozessüberwachung ist möglich. In vielen Fällen soll die komplette Topographie eines Werkstücks oder Objekts geprüft werden, beispielsweise bei derhier gezeigten Komponente eines Stoßdämpfers.

An der Ringfläche dieser Komponente eines Piezo-Systems wurden Ebenheitsabweichungen festgestellt, deren Verlauf in dem gezeigten Profilschnitt wiedergegeben wird.

Bei der Bestückung von SMD-Platinensollen beispielsweise sollen alle Lotbumps dieselbe Höhe besitzen und die Oberflächen von Bauelementen müssen unter einem bestimmten Winkel zueinander stehen.