Grundlagen der Weißlicht-Interferometrie

Moderne Weißlicht-Interferometer nutzen die Interferenzeffekte, die bei der Überlagerung des vom Messobjekt reflektierten Lichts mit dem von einem hochgenauen Referenzspiegel zurückgestreuten Licht auftreten.

Das Messverfahren basiert auf dem Prinzip des Michelson-Interferometers, wobei der optische Aufbau (Bild) eine Lichtquelle mit einer Kohärenzlänge im μm-Bereich enthält. An einem Strahlteiler wird der kollimierte Lichtstrahl in Mess- und Referenzstrahl aufgeteilt. Der Messstrahl trifft das Messobjekt, der Referenzstrahl einen Spiegel. Das vom Spiegel und Messobjekt jeweils zurückgeworfene Licht wird am Strahlteiler wieder überlagert und auf eine Kamera abgebildet.

Immer dann, wenn der optische Weg für einen Objektpunkt im Messarm mit dem optischen Weg im Referenzarm übereinstimmt, kommt es für alle Wellenlängen im Spektrum der Lichtquelle zu einer konstruktiven Interferenz und das Kamerapixel des betreffenden Objektpunktes hat die maximale Intensität. Für Objektpunkte, die diese Bedingung nicht erfüllen, hat das zugeordnete Kamerapixel eine niedrige Intensität. Die Kamera registriert folglich alle Bildpunkte, die dieselbe Höhe haben.

Je nach Einsatzschwerpunkt stellt Polytec daher unterschiedliche Modelle der Top-Map Serie zur Verfügung

Geräte mit telezentrischem Aufbau erlauben eine simultane Vermessung der Topographie großer Flächen in einem einzigen Messvorgang und innerhalb einer kurzen Messzeit.

Wird dagegen eine hohe laterale Auflösung benötigt, bieten sich Mikroskopsysteme an, bei denen der optische Aufbau mitsamt dem Referenzarm in das Objektiv integriert ist.

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