Ebenheit und Parallelität

Flatness and Parallelism

Bei Funktionsoberflächen sind Ebenheiten häufig von entscheidender Bedeutung, beispielweise bei Bauteilen mit Dichtflächen aus der Druck- und Vakuumtechnik, aber auch bei transparenten Folien für Displays, Halbleiterbauelementen, Metall- und Keramikoberflächen. Auch Traganteile können einfach und zuverlässig bestimmt werden. Die Top-Map Systeme erlauben hier großflächige Messungen bis zu 37 x 28 mm2 und damit eine schnelle und vollständige Charakterisierung des Werkstücks.

Beispiel: Ebenheit von Spiegelhaltern

Die Spiegelhalter für die Geometrie-Scaneinheit des Scanning Vibrometers werden in der Mechanik-Fertigung bei Polytec auf einem Dreh-Fräszentrum hergestellt. Während der maschinellen Bearbeitung auftretende Spannungen können die Ebenheit der resultierenden Oberfläche beeinträchtigen. Die Abweichungen werden mit Hilfe eines TopMap Weißlicht-Interferometers kontrolliert und der Fertigungsprozess entsprechend optimiert.

Mirror holder

Measurement setup

Good part

Bad part