Laser-Anwendungen in der Halbleitertechnik

Testen von Receivern

                        fs-Laser bei 1 µm mit MHz-Repetitionsraten

                        fs-Laser bei 1,5 µm

Waferinspektion

                        Ar*/Kr*-Laser

                        InGaAs-Kameras

Mikromaterialbearbeitung

                        Mikromaterialbarbeitung – YAG-Systeme



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