Mikrosystemtechnik und Nanotechnologie

Micro & Nano Technology

In der Automobiltechnik, Datenkommunikation und Prozesstechnik schalten und walten immer mehr Mikro-Sensoren und -Aktoren mit hoher Präzision und Zuverlässigkeit. Für die dynamische Charakterisierung dieser winzigen mikroelektromechanischen Systeme (MEMS) kommen nur sehr leistungsfähige und vorrangig berührungslose Verfahren in Frage – an vorderster Front die optische Schwingungsmesstechnik von Polytec, die Bewegungen im Nanometer-Bereich und darunter auflöst. Feinste 3D-Oberflächenstrukturen lassen sich mit Hilfe der Weißlicht-Interferometrie ebenfalls im Nanometer-Bereich analysieren.

“We have been using Polytec vibrometers for several years to characterize the dynamics of microsystems (MEMS) and nanosystems (NEMS). The level of support has been consistently excellent. The onsite visits for installation, calibration, and training are a major highlight. The engineers from Polytec are generous with their knowledge and experience, and our students benefit greatly from these visits.”
Srikar Vengallatore, Associate Professor and Canada Research Chair, McGill University, Montreal, Quebec, Canada

Validierung von Simulationsmodellen

Validation of Simulation Models

MEMS-Entwickler setzen verschiedene Entwicklungswerkzeuge ein, um bei einem neuen Bauteil-Design durch Simulation und Tests vom Konzept zum fertigen Produkt zu gelangen. Um Simulationsmodelle zu validieren, werden diese mit experimentell ermittelten Daten abgeglichen. Rückwirkungsfreie optische Messverfahren sind dabei unersetzlich.

 

Herstellungsrelevante Parameter finden

Find Parameters Relevant to Manufacturing

Informationen über aktuelle Prozessparameter und deren Einfluss auf die Abmessungen und Materialparameter des MEMS-Bauteils sind notwendig, um den Herstellungsprozess sicher zu steuern. Beispielsweise wird die Silicon-on-Insulator Technologie verwendet, um dreidimensionale mikromechanische Sensoren und Aktoren herzustellen. Die topographische Analyse ist entscheidend für Bauteilentwicklung und Prozessoptimierung.

 

MEMS zuverlässiger machen

Improving MEMS Reliability

Die zuverlässige Funktion eines MEMS-Bauteils bei mechanischer Anregung, Strahlungs-, Temperatur- und Luftfeuchtigkeitseinflüssen sowie Druckbelastung muss durch Umweltsimulation in Vakuum- bzw. Klimakammern verifiziert werden. Der Micro System Analyzer von Polytec bietet genügend Arbeitsabstand, um das statische und dynamische Bauteilverhalten dabei von außen messen zu können.

 

Fertigungsprüfung auf Wafer Level

Wafer-Level Production Testing

Die Prüfung auf Wafer Level-Ebene spart Kosten, indem Bauteile bereits vor dem Packaging charakterisiert und ausgewählt bzw. aussortiert werden. Polytec Messtechnik kann hierfür problemlos in automatisierte Probe Stations integriert werden. Die schnelle Messung erlaubt einen hohen Durchsatz und ist so ein wichtiges Werkzeug zur Überwachung des Produktionsprozesses.

 

Performance von Ultraschallsensoren verifizieren

Ein zunehmender Anteil mikrogefertigter Sensoren, Aktoren und Komponenten schwingt heute mit Frequenzen im hohen MHz-Bereich und darüber. Um die Performance von Mikrosystemen wie beispielsweise Ultraschallsensoren zu verifizieren bietet die berührungsfreie, flächenhafte Schwingungsmessung im Ultrahochfrequenz-Bereich eine präzise und zuverlässige Methode.

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